디지털 SOP

Paperless Work Instructions · 버전 관리 · 운영자 사인오프 — 활성 6 · 초안 1 · 오늘 사인오프 46

PROCESS 전체 7 Photo 3 Etch 1 CVD 1 PM 1 Metrology 1 ACTIVE 6 DRAFT 1
WI-PH28-L01
v4
Photo Lithography · 28nm L01
28nm Logic Layer 1 노광 공정 표준 작업 지시
Photo · LP-28A-* 5 step
박성훈 2026-04-19 12 오늘
WI-PH14-L01
v5
Photo · 14nm L01 (EUV)
EUV 노광 · 더 정밀한 파라미터 검증
Photo · LP-14B-* 6 step
김현장 2026-05-01 3 오늘
WI-DRAFT-V1
v1
(Draft) 신규 N5 Photo
개발 중 — 검토 단계
Photo · PILOT-5-* 0 step
정연구 2026-05-02 —