Lot 진행

L1A-2401-001

RUN

Logic A EQ-001

L01-Photo 78%

qty 500 ETA 14m

L1A-2401-002

RUN

Logic A EQ-002

L01-Etch 42%

qty 500 ETA 33m

L1A-2401-003

RUN

Logic A EQ-004

L02-Deposit 15%

qty 500 ETA 62m

L1B-2401-007

RUN

Logic B EQ-011 HIGH

L01-Photo 52%

qty 300 ETA 22m

L1B-2401-008

RUN

Logic B EQ-012 HIGH

L01-Etch 30%

qty 300 ETA 40m

L1B-2401-009

HOLD

Logic B 대기 HIGH

대기 (CVD-B1) 0%

qty 300 EQ-014 다운

LM-2401-021

RUN

Memory EQ-021

L01-Photo 88%

qty 800 ETA 8m

LM-2401-022

RUN

Memory EQ-022

L01-Etch 62%

qty 800 ETA 20m

LM-2401-023

RUN

Memory EQ-024

L02-Deposit 40%

qty 800 ETA 32m

LM-2401-024

RUN

Memory EQ-025

L02-CMP 22%

qty 800 ETA 44m

LM-2401-025

RUN

Memory EQ-026

L02-Metro 5%

qty 800 ETA 56m