MTBF · 평균
152.3h
▲ 8h vs 지난주
MTTR · 평균
41분
▼ 4분 (개선)
AVAILABILITY
96%
PM · 진행 / 긴급
1 / 1
오늘 PM 3건
예지보전 알림 2건 발생
EQ-022 CD drift · EQ-014 온도 센서 패턴 · 전체 보기 →
장비별 MTBF / MTTR (30일)
FAILURES · AVAIL · MTBF · MTTR| 장비 | 이름 | MTBF | MTTR | Availability | 고장 (30d) | 신호 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| EQ-001 | Photo-A1 | 148.2h | 32분 |
97.2%
|
1 | NORMAL |
| EQ-002 | Etch-A1 | 132.4h | 28분 |
96.4%
|
2 | NORMAL |
| EQ-004 | CVD-A1 | 240.8h | 45분 |
98.4%
|
0 | NORMAL |
| EQ-005 | CMP-A1 | 180.0h | 52분 |
96%
|
1 | NORMAL |
| EQ-011 | Photo-B1 | 112.4h | 34분 |
95.8%
|
2 | NORMAL |
| EQ-013 | Etch-B2 | 88.2h | 42분 |
93.6%
|
3 | NORMAL |
| EQ-014 | CVD-B1 | 72.0h | 68분 |
91.2%
|
4 | CRITICAL |
| EQ-015 | CMP-B1 | 168.4h | 38분 |
96.8%
|
1 | NORMAL |
| EQ-021 | Photo-M1 | 196.8h | 26분 |
97.8%
|
1 | NORMAL |
| EQ-022 | Etch-M1 | 104.6h | 40분 |
94.4%
|
2 | WATCH |
| EQ-024 | CVD-M1 | 208.0h | 48분 |
97.6%
|
1 | NORMAL |
| EQ-025 | CMP-M1 | 176.0h | 36분 |
96.6%
|
1 | NORMAL |
최근 PM (이번 주)
전체 일정 →
EQ-005
CMP 헤드 분리 + 패드 교체
2026-05-02 12:00 · 4h · 정정비
EQ-024
챔버 클리닝 (NF3)
2026-05-02 18:00 · 1.5h · 정정비
EQ-022
예지보전 — CD drift 대응
2026-05-02 16:00 · 2h · 박점검
EQ-013
정기 점검 (월간)
2026-05-04 09:00 · 3h · 정정비
EQ-001
분기 점검 (Q2)
2026-05-08 08:00 · 6h · 박점검
예지보전 알림
전체 보기 →
EQ-022
CD drift
HIGH
+0.32nm/h / 임계 +0.20nm/h
→ 14h
EQ-014
온도 센서 패턴
CRITICAL
8.4°C 편차 / 임계 5.0°C
→ 즉시
EQ-013
RF 매칭 효율
MEDIUM
92.1% / 임계 95.0%
→ 3일
EQ-024
NH3 사용량 추이
LOW
82L/h / 임계 90L/h
→ 7일
EQ-005
패드 마모율
MEDIUM
78% / 임계 80%
→ 4h