CRITICAL
1
즉시 대응
HIGH
1
24h 이내
MEDIUM
2
주간 점검
LOW
2
추이 관찰
알림 상세
EQ-022 · Etch-M1
HIGH
SPC Drift
CD drift
Cpk 0.85 → 0.72 추정 — 즉시 보전 권고
+0.32nm/h
/ 임계 +0.20nm/h
▶ 14시간 내
조치
PM-2024-053 발의됨
EQ-014 · CVD-B1
CRITICAL
센서 패턴
온도 센서 패턴
쿨링 시스템 fault — 현재 다운
8.4°C 편차
/ 임계 5.0°C
▶ 즉시 대응
조치
정비 호출됨 (ETA 14:30)
EQ-013 · Etch-B2
MEDIUM
센서 패턴
RF 매칭 효율
5일 내 매칭 보드 점검 권고
92.1%
/ 임계 95.0%
▶ 3일 내
조치
PM-2024-054 일정 등록
EQ-024 · CVD-M1
LOW
자재 추이
NH3 사용량 추이
1주 내 봄베 교체 권고
82L/h
/ 임계 90L/h
▶ 7일 내
조치
자재팀 알림 완료
EQ-005 · CMP-A1
MEDIUM
마모율
패드 마모율
PM 진행 중 — 패드 교체 작업
78%
/ 임계 80%
▶ 4시간 내
조치
PM-2024-051 진행 중
EQ-002 · Etch-A1
LOW
진동
진공 펌프 진동
10일 내 진동 추이 재평가
2.1 mm/s
/ 임계 2.5 mm/s
▶ 10일 내
조치
모니터링 유지
예지 알고리즘 요약
SPC 7-Rule 위반 + 센서 트렌드 · Cusum drift detection · 진동 베이스라인 비교 · 마모 누적 적분 — 신뢰도 임계는 95%로 설정. 알림은 설정 → 임계치에서 조정.