PM 일정
정기보전 + 예지보전 일정 — 진행 1 · 긴급 1 · 예정 4 · 완료 3
7일 캘린더 (05/03 → 05/09)
일
3
TODAY
12:00
EQ-005
CMP 헤드 분리 + 패드 교체
18:00
EQ-024
챔버 클리닝 (NF3)
16:00
EQ-022
예지보전 — CD drift 대응
월
4
—
화
5
09:00
EQ-013
정기 점검 (월간)
수
6
11:00
EQ-026
캘리브레이션
목
7
—
금
8
—
토
9
08:00
EQ-001
분기 점검 (Q2)
긴급 + 진행 중
EQ-022 · Etch-M1
URGENT
예지보전 — CD drift 대응
SPC Rule 3 / Cpk 0.85 → 임계
2026-05-03 16:00 · 2h · 박점검 · WI-PM-ETCH
EQ-005 · CMP-A1
IN_PROGRESS
CMP 헤드 분리 + 패드 교체
52% 완료
2026-05-03 12:00 · 4h · 정정비 · WI-PM-CMP
예정 + 최근 완료
EQ-024 · CVD-M1
SCHEDULED
주간
챔버 클리닝 (NF3)
2026-05-03 18:00 · 1.5h · 정정비
EQ-013 · Etch-B2
SCHEDULED
월간
정기 점검 (월간)
2026-05-05 09:00 · 3h · 정정비
EQ-001 · Photo-A1
SCHEDULED
분기
분기 점검 (Q2)
2026-05-09 08:00 · 6h · 박점검
EQ-026 · Metro-M1
SCHEDULED
주간
캘리브레이션
2026-05-06 11:00 · 1h · 박품질
EQ-002 · Etch-A1
COMPLETED
주간
주간 점검
2026-04-30 09:00 · 1.5h · 정정비 · 완료 2026-04-30 10:24
EQ-011 · Photo-B1
COMPLETED
월간
월간 점검
2026-05-01 08:00 · 3h · 박점검 · 완료 2026-05-01 11:18
EQ-021 · Photo-M1
COMPLETED
주간
주간 점검
2026-05-02 14:00 · 1.5h · 정정비 · 완료 2026-05-02 15:42