Mission Control

실시간 제조 현장 — 4개 라인 · 24대 장비 · 운영자 30명 · B조 가동 중

Andon Board POP 터미널

Logic A

28nm

88.2%

WIP 3 박성훈

Logic B

14nm

79.4%

WIP 2 김현장

Memory

10nm

85.6%

WIP 5 이생산

Pilot R&D

5nm

—

WIP 0 정연구

Active Lots

Lot	라인	설비	단계	진행	ETA	상태
L1A-2401-001	Logic A	EQ-001	L01-Photo	78%	14m	RUN
L1A-2401-002	Logic A	EQ-002	L01-Etch	42%	33m	RUN
L1A-2401-003	Logic A	EQ-004	L02-Deposit	15%	62m	RUN
L1B-2401-007	Logic B	EQ-011	L01-Photo	52%	22m	RUN
L1B-2401-008	Logic B	EQ-012	L01-Etch	30%	40m	RUN
L1B-2401-009	Logic B	—	대기 (CVD-B1)	0%	—	HOLD
LM-2401-021	Memory	EQ-021	L01-Photo	88%	8m	RUN
LM-2401-022	Memory	EQ-022	L01-Etch	62%	20m	RUN
LM-2401-023	Memory	EQ-024	L02-Deposit	40%	32m	RUN
LM-2401-024	Memory	EQ-025	L02-CMP	22%	44m	RUN

Live Event Feed

LIVE

0m전 L1B-2401-009 Lot HOLD — EQ-014 down 대기 HOLD

1m전 EQ-022 SPC Rule 3 violation — CD parameter SPC

3m전 LM-2401-022 step 사인오프 완료 — 박운영 SIGN

4m전 EQ-013 워밍업 임계 90% 도달 WARMUP

6m전 LM-2401-023 CVD-M1 진입 — qty 800 START

9m전 운영자 이주간 POP 스테이션 ST-04 로그인 LOGIN

14m전 LM-2401-021 Photo step 완료 — yield 99.4% YIELD

18m전 EQ-014 Cooling fault — auto stop · supervisor 호출 DOWN

23m전 24h MTBF 갱신 — Logic-A 평균 158h ↑ METRIC

28m전 L1A-2401-001 단계 진행 — progress 78% PROGRESS

32m전 결함 등록 — defect-2024-3318 particle on wafer #14 DEFECT

37m전 EQ-005 월간 PM 시작 — 예상 4h PM

24시간 OEE 히트맵

HOURLY · 0~24h

Logic A

Logic B

Memory

Pilot R&D

00:0006:0012:0018:00NOW

86%↑ (정상) 75–85% 60–74% 60%↓ (위험) idle

Open Andon

전체

CRITICAL 23m전

CVD-B1 Cooling Fault

온도 센서 임계치 초과로 자동 정지

Logic B EQ-014

WARNING 8m전

CD Drift 감지

SPC Rule 3 위반 — 6점 연속 평균 위

Memory EQ-022

WARNING 4m전

설비 워밍업 임계

안정화 시간 90% 도달

Logic B EQ-013

장비 상태 그리드 (24)

RUN 12 IDLE 8 WARN 2 DOWN 1 PM 1

정기 보전 중

Cooling fault · 23m