PROGRESS
42%
QUANTITY
500
scrap 0 · rework 0
ETA
33분
단계 완료까지
PRIORITY
NORMAL
고객 마감 영향
진행 Timeline
분 단위 · 최근 → 이전
(시드 데이터 없음) NOW
—
다른 Lot의 timeline은 본격 구현 시 연결
적용 Recipe
ET-28-L02 v3
28nm Logic — Layer 1 Etch
RF Power
800W
800W
Pressure
50 mTorr
50 mTorr
Time
42 sec
42 sec
Gas Flow
Cl₂ 80sccm
Cl₂ 80sccm
품질 측정
CD (Critical Dimension)
24.05nm
SPEC 23.5–24.5
IN SPEC
Overlay
1.8nm
SPEC ≤ 3.0
IN SPEC
Particle
2ea
SPEC ≤ 5
PASS
사인오프 이력
사인오프 기록 없음