PROGRESS
0%
QUANTITY
300
scrap 0 · rework 0
ETA
대기 중
단계 완료까지
PRIORITY
HIGH
고객 마감 영향
Lot HOLD — EQ-014 다운
진행을 재개하려면 사유 해결 후 supervisor 승인이 필요합니다.
진행 Timeline
분 단위 · 최근 → 이전
EQ-014 DOWN — Lot HOLD
13:14
cooling fault — supervisor 호출
L02-Deposit 대기
12:42
EQ-014 가용 대기
사인오프
12:18
ST-05 · 김현장 · qty out 300
L01-Etch 진입
10:32
ST-05 · 김현장 · ET-14-L02
사인오프
10:08
ST-04 · 김현장 · qty out 300
L01-Photo 진입
09:14
ST-04 · 김현장 · PH-14-L01
Lot 시작
08:42
ST-04 · 김현장 · Logic-B priority HIGH
적용 Recipe
ET-28-L02 v3
28nm Logic — Layer 1 Etch
RF Power
800W
800W
Pressure
50 mTorr
50 mTorr
Time
42 sec
42 sec
Gas Flow
Cl₂ 80sccm
Cl₂ 80sccm
품질 측정
CD (Critical Dimension)
24.05nm
SPEC 23.5–24.5
IN SPEC
Overlay
1.8nm
SPEC ≤ 3.0
IN SPEC
Particle
2ea
SPEC ≤ 5
PASS
사인오프 이력
김현장
10:08 · ST-04
김현장
12:18 · ST-05