디지털 SOP

Paperless Work Instructions · 버전 관리 · 운영자 사인오프 — 활성 6 · 초안 1 · 오늘 사인오프 46

PROCESS 전체 7 Photo 3 Etch 1 CVD 1 PM 1 Metrology 1 ACTIVE 6 DRAFT 1
WI-CV28-D03
v2
CVD · 28nm D03 Deposit
D03 layer 증착 (TEOS)
CVD · LP-28A-* 4 step
박성훈 2026-03-11 4 오늘