디지털 SOP

Paperless Work Instructions · 버전 관리 · 운영자 사인오프 — 활성 6 · 초안 1 · 오늘 사인오프 46

PROCESS 전체 7 Photo 3 Etch 1 CVD 1 PM 1 Metrology 1 ACTIVE 6 DRAFT 1
WI-ET28-L02
v3
Etch · 28nm L02 Layer
L02 식각 — RF Power 800W · 42초
Etch · LP-28A-* 5 step
박성훈 2026-04-23 8 오늘