디지털 SOP

Paperless Work Instructions · 버전 관리 · 운영자 사인오프 — 활성 6 · 초안 1 · 오늘 사인오프 46

PROCESS 전체 7 Photo 3 Etch 1 CVD 1 PM 1 Metrology 1 ACTIVE 6 DRAFT 1
WI-PM-CMP
v2
CMP 정기 보전 (월간)
CMP 헤드 분리 · 패드 교체 · 슬러리 라인 청소
PM · * 8 step
정정비 2026-02-14 1 오늘