WI-PH14-L01 v5
Photo · 14nm L01 (EUV) · EUV 노광 · 더 정밀한 파라미터 검증
PROCESS
Photo
PRODUCT
LP-14B-*
OWNER
김현장
SIGNOFFS TODAY
3 개
Step 별 작업 지시 — 총 0단계
사인오프 필요 0권장 파라미터
Recipe
ET-28-L02
RF Power
800 W
Pressure
50 mTorr
Time
42 sec
Gas Flow Cl₂
80 sccm
Gas Flow Ar
30 sccm
Wafer Temp
60 °C
변경 이력
v3
RF Power 750 → 800W (수율 개선)
2026-04-23 · 박성훈
v2
체크 항목 강화 (CD 측정 필수화)
2026-02-08 · 박성훈
v1
초기 작성
2025-12-14 · 이주간
최근 사인오프
step 2 — 파라미터 검증
12:42 · 이주간 · L1A-2401-002
step 5 — 사인오프 완료
12:18 · 이주간 · L1A-2401-001
step 4 — CD 측정
11:48 · 박운영 · LM-2401-021
step 5 — 사인오프 완료
11:14 · 김현장 · L1B-2401-007