품질 · SPC

통계적 공정 관리 — Cp/Cpk · 8 Western Electric Rules · 실시간 이상 감지

결함 등록
EQ-022
CD (Critical Dimension)
CPK
0.85
LAST
24.2nm
Rule violations 1
EQ-006
Overlay
CPK
1.42
LAST
1.8nm
EQ-024
Film Thickness
CPK
1.18
LAST
508Å
EQ-026
Particle
CPK
1.65
LAST
2ea
EQ-018
Sheet Resistance
CPK
1.32
LAST
52.4Ω/sq

CD (Critical Dimension) EQ-024

Last 24 measurements · 1h interval
TARGET
24.00
MEAN
24.05
σ (sigma)
0.180
CP
0.93
CPK
0.85
SPEC
23.5–24.5
LSL 23.50 LCL 23.64 μ 24.05 UCL 24.36 USL 24.50 14:00 17:00 20:00 23:00 02:00 05:00 08:00 11:00 14:00 · 24.060 nm 15:00 · 24.080 nm 16:00 · 24.047 nm 17:00 · 24.043 nm 18:00 · 24.062 nm 19:00 · 24.024 nm 20:00 · 23.916 nm 21:00 · 23.845 nm 22:00 · 23.903 nm 23:00 · 24.041 nm 00:00 · 24.120 nm 01:00 · 24.089 nm 02:00 · 24.026 nm 03:00 · 24.010 nm 04:00 · 24.011 nm 05:00 · 23.960 nm 06:00 · 23.880 nm 07:00 · 23.879 nm 08:00 · 23.994 nm 09:00 · 24.201 nm 10:00 · 24.298 nm 11:00 · 24.291 nm 12:00 · 24.293 nm 13:00 · 24.365 nm
In Spec Out of Spec Trend Control Limit (UCL/LCL) Spec Limit (USL/LSL)

활성 룰 위반

1건
RULE 3 시작 08:00
6점 연속 평균 이상
Western Electric Rule 3 발동 — 트렌드 분석에 의한 ECN 검토 필요

8 Western Electric Rules

1
Beyond ±3σ
단일 점이 통제선 밖 — 즉시 조치
2
9 in a row
9점 연속 평균 한쪽
3
6 trend
6점 연속 단조 증가/감소
4
Alternating 14
14점 연속 교차
5
2 of 3 beyond ±2σ
연속 3점 중 2점이 2σ 외
6
4 of 5 beyond ±1σ
연속 5점 중 4점이 1σ 외
7
15 within ±1σ
15점 연속 1σ 내 — Stratification
8
8 outside ±1σ
8점 연속 1σ 외