결함 등록
사진 첨부 · 심각도 · Disposition (Scrap/Rework/Accept) — 24h 등록 8건
CRITICAL
1
즉시 disposition 필요
MAJOR
4
▼ 추정 손실
PENDING DISPOSITION
1
검토 대기
SCRAP / REWORK
4
scrap 1 · rework 3
DF-2401-001
MAJOR
PARTICLE-LARGE
wafer 중앙부 클러스터 패턴
LOT
LM-2401-022
WAFER / EQ
#14 · EQ-022
DETECTED
13:08 · 박품질
COUNT
3 ea
PENDING
Memory
DF-2401-005
MAJOR
CONTAMINATION
gas line 오염 추정
LOT
LM-2401-023
WAFER / EQ
#9 · EQ-024
DETECTED
10:08 · 박운영
COUNT
5 ea
SCRAP
Memory
DF-2401-006
MAJOR
RESIST-PATTERN
노광 패턴 깨짐
LOT
L1A-2401-002
WAFER / EQ
#16 · EQ-001
DETECTED
09:52 · 이주간
COUNT
2 ea
REWORK
Logic A
DF-2401-008
MAJOR
CD-OVERSIZE
CD 24.62nm — UCL 초과
LOT
L1A-2401-001
WAFER / EQ
#3 · EQ-004
DETECTED
08:42 · 이주간
COUNT
1 ea
REWORK
Logic A