FPY · 1차 통과율
95.4%
최종 수율
97.8%
SCRAP
1.2%
▲ 0.2%pt
REWORK
1.4%
→ 동일
30일 FPY 추이
라인별 수율 (오늘)
| 라인 | FPY | 최종 | SCRAP | REWORK |
|---|---|---|---|---|
| Logic A | 96.8% | 98.4% | 0.6% | 1% |
| Logic B | 92.4% | 96.2% | 2.4% | 1.4% |
| Memory | 96.2% | 98.4% | 0.8% | 0.8% |
| Pilot | — idle — | |||
결함 Pareto
Top 7
PARTICLE-LARGE
12건 (30% / 누적 30%)
PHOTO-OVERLAY
8건 (20% / 누적 50%)
CONTAMINATION
7건 (17% / 누적 67%)
CD-OVERSIZE
5건 (12% / 누적 79%)
RESIST-PATTERN
4건 (10% / 누적 89%)
SCRATCH
2건 (5% / 누적 94%)
EDGE-BEAD
2건 (5% / 누적 99%)
누적 % 라인 — 상위 3개로 67% 발생