수율 분석

Lot · Line · Recipe별 yield % · Yield Bin · WAT · SPC charts (최근 30일)
L-24 · 24nm
최근 30일 평균
97.55%
기록 3건 총 die 1,510 양품 1,473
L-18 · 18nm
최근 30일 평균
96.08%
기록 2건 총 die 1,045 양품 1,004
L-16 · 16nm
최근 30일 평균
93.92%
기록 2건 총 die 805 양품 756
L-12 · 12nm
최근 30일 평균
91.77%
기록 2건 총 die 765 양품 702
L-10 · 10nm
최근 30일 평균
88.00%
기록 2건 총 die 725 양품 638
L-08 · 8nm
최근 30일 평균
78.75%
기록 1건 총 die 320 양품 252
SPC — Critical Dimension (CD) 측정 추이 SPC
평균 (X̄)
13.01
nm
σ (표준편차)
6.224
n=6
Cp
0.03
잠재 능력
Cpk
-0.24
미달
이탈
5/6
spec out · 관리이탈 0
-10.14 1.43 13.01 24.58 36.16 USL LSL UCL LCL CL 13.01 #1 Lot L-0801-0601 값: 8.100 nm 시간: 05/16 20:57 #2 Lot L-0801-0606 값: 8.950 nm 시간: 05/16 21:57 ⚠ Spec 이탈 #3 Lot L-0801-0602 값: 8.650 nm 시간: 05/16 22:57 ⚠ Spec 이탈 #4 Lot L-2401-0101 값: 24.100 nm 시간: 05/17 15:57 #5 Lot L-1601-0123 값: 16.200 nm 시간: 05/17 17:57 #6 Lot L-1201-0124 값: 12.050 nm 시간: 05/17 19:57 05/16 05/16 05/17
측정값 (n=6) CL (평균) UCL/LCL (±3σ) USL/LSL spec 7.50 ~ 8.50 nm
Yield Bin 분포 (최근 30일)
Y1 양품 PASS
93.3%
4,825
Y2 속도불량
4.3%
220
Y3 리키지 불량
1.8%
91
Y4 단락 불량
0.3%
18
Y5 오픈 불량
0.3%
16
Y6 파라메트릭 불량
0.0%
0
Y7 외관 불량
0.0%
0
총 5,170 die
WAT (Wafer Acceptance Test) 최근 30일
0.0%
PASS RATE
총 검사
0
전체 0
합격
0
0%
불합격
0
0%
전체 대비
0.0%p
동일
최근 7일 PASS RATE
데이터 없음
라인별 PASS RATE
데이터 없음
최근 수율 기록
일시Lot라인수율
05/15 01:57 L-2400-0094 L-24 97.65%
05/14 23:57 L-2401-0092 L-24 98.00%
05/14 01:57 L-0800-0691 L-08 78.75%
05/14 01:57 L-1800-0194 L-18 96.00%
05/14 01:57 L-1600-0294 L-16 93.83%
05/12 23:57 L-2401-0091 L-24 97.00%
05/11 23:57 L-1801-0191 L-18 96.15%
05/11 01:57 L-1200-0394 L-12 91.95%
05/10 01:57 L-1000-0494 L-10 88.22%
05/09 23:57 L-1601-0291 L-16 94.00%
05/08 23:57 L-1201-0391 L-12 91.58%
05/07 23:57 L-1001-0491 L-10 87.78%