L-1001-0491 DONE
D-10-HP · L-10 High-Performance
L-10 · 10nm
PR-10-HP
L26 · L01-Photo
Wafer 수량
25
현재 Layer
26
시작
03/28 23:57
49일 경과
목표 완료
05/07 23:57
Wafer 슬롯 (0)
Wafer 데이터 없음 (Lot 1~5만 시드 됨)
측정 데이터 (최근)
측정 데이터 없음
가공 이력 (Travel Sheet, 최근 30건)
가공 이력 없음
수율 기록
| 일시 | Recipe | 총 die | 양품 | 수율 | Bin |
|---|---|---|---|---|---|
| 05/07 23:57 | RC-10-L01-P | 360 | 316 | 87.78% | Y1:316 Y2:28 Y3:12 Y5:4 |