L-1600-0294 DONE
D-16-FF · L-16 FinFET Logic
L-16 · 16nm
PR-16-FF
L18 · L01-Photo
Wafer 수량
25
현재 Layer
18
시작
04/14 01:57
33일 경과
목표 완료
05/14 01:57
Wafer 슬롯 (0)
Wafer 데이터 없음 (Lot 1~5만 시드 됨)
측정 데이터 (최근)
측정 데이터 없음
가공 이력 (Travel Sheet, 최근 30건)
가공 이력 없음
수율 기록
| 일시 | Recipe | 총 die | 양품 | 수율 | Bin |
|---|---|---|---|---|---|
| 05/14 01:57 | RC-16-L01-P | 405 | 380 | 93.83% | Y1:380 Y2:17 Y3:6 Y4:2 |