일일 생산 리포트
2026-05-03 · 자동 생성 · 발표용 출력 가능
PLANT OEE
63.3%
TOTAL WAFERS
5,196
▲ 124 vs 어제
FPY (24H)
95.4%
▲ 0.8%pt
TOTAL DOWN
2h 13m
▼ 22m vs 평균
라인별 성과
| 라인 | OEE | 완료 Lot | 총 Wafer | FPY | Down (분) | 결함 | 상태 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
Logic A
28nm
|
88.2% | 3 | 1,542 | 96.8% | 78 | 8 | RUN |
|
Logic B
14nm
|
79.4% | 2 | 980 | 92.4% | 27 | 8 | WARN |
|
Memory
10nm
|
85.6% | 5 | 2,474 | 96.2% | 28 | 8 | RUN |
|
Pilot R&D
5nm
|
— | 0 | 200 | — | 0 | 8 | IDLE |
주요 이슈 Top 5
EQ-014 Cooling fault
L-Logic-B
EQ-005 정기 PM (월간)
L-Logic-A
EQ-022 SPC drift (CD)
L-Memory
EQ-024 NH3 잔량 부족
L-Memory
EQ-002 Pump 압력 이상
L-Logic-A
결함 분포
CONTAMINATION
5개 (33%)
PARTICLE-LARGE
4개 (27%)
RESIST-PATTERN
2개 (13%)
SCRATCH
1개 (7%)
PHOTO-OVERLAY
1개 (7%)
EDGE-BEAD
1개 (7%)
CD-OVERSIZE
1개 (7%)
자동 생성 리포트
이 리포트는 2026-05-03 23:59에 자동으로 마감되어 PDF로 보관됩니다. 각 라인 supervisor의 인계 메모와 OEE 분해(Availability × Performance × Quality)가 포함됩니다.