사유 코드

다운타임 사유 3-level 트리 — 카테고리 4 · 그룹 10 · 코드 24

L1 카테고리 · L2 그룹 · L3 코드

1 설비 (Equipment) 3 그룹 · 8 코드

1.1 냉각계 4 코드

1.1.1 온도 이상 1.1.2 유량 이상 1.1.3 Cooling fault 1.1.4 센서 고장

1.2 워밍업 / 안정화 2 코드

1.2.1 안정화 대기 1.2.2 재가동

1.3 진공계 2 코드

1.3.1 Pump 압력 이상 1.3.2 밸브 고장

2 자재 (Material) 3 그룹 · 7 코드

2.1 가스 3 코드

2.1.1 Cl2 잔량 부족 2.1.2 NH3 잔량 부족 2.1.3 순도 이상

2.2 슬러리 2 코드

2.2.1 농도 이상 2.2.2 잔량 부족

2.3 Wafer 2 코드

2.3.1 대기 부족 2.3.2 규격 외 자재

3 인력 (Personnel) 2 그룹 · 4 코드

3.1 교대 2 코드

3.1.1 교대 지연 3.1.2 운영자 부재

3.2 교육/훈련 2 코드

3.2.1 OJT 진행 3.2.2 안전교육

4 기타 (Other) 2 그룹 · 5 코드

4.1 정기보전 3 코드

4.1.1 월간 PM 4.1.2 분기 PM 4.1.3 예비 점검

4.2 정전 / 전원 2 코드

4.2.1 전원 끊김 4.2.2 UPS 전환

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