시스템
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| ECN No | 유형 | 요약 | 사유 | 발의자 | 발효일 | 상태 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| ECN-2604-004 | PROCESS | L-08 GAA L05 Photo 추가 | GAA 도입 안정화 | 차시니어 | 04/22 | APPROVED |
| ECN-2604-003 | RECIPE | L-08 RC-08-L01-P 노광시간 360→365ms | CD 0.4nm 보정 | 차시니어 | - | PENDING |
| ECN-2603-002 | RECIPE | L-16 RC-16-L01-P focus_offset 보정 | overlay drift 보정 | 문시니어 | 04/17 | APPROVED |
| ECN-2604-001 | RECIPE | L-12 RC-12-L01-P 노광시간 280→285ms | CD shift 0.3nm 보정 → 수율 +0.8% | 윤시니어 | - | PENDING |