조직·인증
사용자 · 부서 · 장비 인증 · 휴가/부재 (자동 위임) · 교대조 · 인수인계
활성 사용자
31
현재 휴가/부재
1
인증 만료 (만료/30일내)
0 / 0
미확인 인수인계
3
INFO
L-12
day
swing
미확인
Lot L-2412-0008 진행 양호
L-12에서 8번 Lot 진행 양호. 오후조에 인계.
작성: 박오퍼레이터
방금
WARN
L-16
swing
night
미확인
Stepper #3 노광시간 1.5% 길어짐
오후조 후반 측정 결과 노광시간이 표준 대비 1.5% 길어짐. 다음 lot 진행 전 calibration 체크 권장.
작성: 안오퍼레이터
8시간 전
WARN
L-08
swing
night
미확인
L-08 EQ-E10 particle drift
야간조 후반 EQ-E10 particle 단계적 상승 (0.04→0.06um). 기상조에서 chamber clean 권장.
작성: 노오퍼레이터
8시간 전