PR-08-GAA L-08 GAA 28-layer ACTIVE

L-08 · 8nm 28 layers 표준 사이클타임 1,100.0h 버전 1.0 작성 차시니어
목록
평균 수율
78.75%
1건 평균
사이클타임
1,100.0h
표준
Step / Layer
5/28
레시피 1종
In-Spec 비율
66.7%
측정 6건
수율 추이 (최근 1건) target ≥ 95%
100 94 89 83 77 95% target RC-08-L01-P · L-0800-069178.75% (252/320) 2026-05-14 01:57:56 05-14
장비 타입 분포 5개 step 기준
Etcher: 2개 (40%) Stepper: 2개 (40%) CMP: 1개 (20%) 3 TYPES
  • Etcher 2 40%
  • Stepper 2 40%
  • CMP 1 20%
Layer 별 시간 · 수율
L1
145.0m
3 step 99.07%
L2
35.0m
1 step 99.20%
L5
80.0m
1 step 98.80%
Process Step (5)
LS이름장비시간수율
1 1 L01-EUV-Photo Stepper 75.0m 99.00%
1 2 L01-Etch Etcher 50.0m 98.70%
1 3 L01-Strip Etcher 20.0m 99.50%
2 1 L02-CMP CMP 35.0m 99.20%
5 1 L05-EUV-Photo Stepper 80.0m 98.80%
레시피 (1)
코드Step버전상태
RC-08-L01-P L01-EUV-Photo 1.0 ACTIVE