PR-12-FF L-12 FinFET 22-layer ACTIVE
L-12 · 12nm
22 layers
표준 사이클타임 840.0h
버전 1.0
작성 윤시니어
평균 수율
91.77%
2건 평균
사이클타임
840.0h
표준
Step / Layer
2/22
레시피 1종
In-Spec 비율
100.0%
측정 2건
수율 추이 (최근 2건)
target ≥ 95%
장비 타입 분포
2개 step 기준
- Etcher 1 50%
- Stepper 1 50%
Layer 별 시간 · 수율
L1
Process Step (2)
| L | S | 이름 | 장비 | 시간 | 수율 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 1 | L01-Photo | Stepper | 60.0m | 99.20% |
| 1 | 2 | L01-Etch | Etcher | 42.0m | 99.00% |
레시피 (1)
| 코드 | Step | 버전 | 상태 |
|---|---|---|---|
| RC-12-L01-P | L01-Photo | 1.5 | ACTIVE |