PR-16-FF L-16 FinFET 18-layer ACTIVE

L-16 · 16nm 18 layers 표준 사이클타임 720.0h 버전 1.0 작성 문시니어
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평균 수율
93.92%
2건 평균
사이클타임
720.0h
표준
Step / Layer
2/18
레시피 1종
In-Spec 비율
50.0%
측정 2건
수율 추이 (최근 2건) target ≥ 95%
100 97 94 91 88 95% target RC-16-L01-P · L-1601-029194.00% (376/400) 2026-05-09 23:57:06 05-09 RC-16-L01-P · L-1600-029493.83% (380/405) 2026-05-14 01:57:56 05-14
장비 타입 분포 2개 step 기준
Etcher: 1개 (50%) Stepper: 1개 (50%) 2 TYPES
  • Etcher 1 50%
  • Stepper 1 50%
Layer 별 시간 · 수율
L1
93.0m
2 step 99.20%
Process Step (2)
LS이름장비시간수율
1 1 L01-Photo Stepper 55.0m 99.30%
1 2 L01-Etch Etcher 38.0m 99.10%
레시피 (1)
코드Step버전상태
RC-16-L01-P L01-Photo 1.2 ACTIVE