PR-24-LG L-24 Logic 12-layer ACTIVE

L-24 · 24nm 12 layers 표준 사이클타임 480.0h 버전 1.0 작성 윤시니어
목록
평균 수율
97.55%
3건 평균
사이클타임
480.0h
표준
Step / Layer
3/12
레시피 1종
In-Spec 비율
100.0%
측정 5건
수율 추이 (최근 3건) target ≥ 95%
100 97 94 91 88 95% target RC-24-L01-P · L-2401-009197.00% (485/500) 2026-05-12 23:57:06 05-12 RC-24-L01-P · L-2401-009298.00% (490/500) 2026-05-14 23:57:06 RC-24-L01-P · L-2400-009497.65% (498/510) 2026-05-15 01:57:56 05-15
장비 타입 분포 3개 step 기준
Etcher: 2개 (67%) Stepper: 1개 (33%) 2 TYPES
  • Etcher 2 67%
  • Stepper 1 33%
Layer 별 시간 · 수율
L1
90.0m
3 step 99.50%
Process Step (3)
LS이름장비시간수율
1 1 L01-Photo Stepper 45.0m 99.50%
1 2 L01-Etch Etcher 30.0m 99.20%
1 3 L01-Strip Etcher 15.0m 99.80%
레시피 (1)
코드Step버전상태
RC-24-L01-P L01-Photo 1.0 ACTIVE