Lot 추적

WIP · Wafer · Travel Sheet · Hold/Release · Genealogy (split/merge/rework)

Lot No	품목	라인	공정/Step	Layer	Wafer	우선순위	진행	상태
L-1601-0123	D-16-FF L-16 FinFET Logic	L-16	PR-16-FF / L01-Photo	5	25	P5	15d	HOLD
L-1601-0301	D-16-FF L-16 FinFET Logic	L-16	PR-16-FF / L01-Photo	5	25	P5	17d	RUNNING
L-1601-0307	D-16-FFB L-16 FinFET Logic B	L-16	PR-16-FF / L01-Photo	4	25	P5	13d	RUNNING
L-1601-0304	D-16-FF L-16 FinFET Logic	L-16	PR-16-FF / L01-Photo	7	25	P3	21d	RUNNING
L-1601-0302	D-16-FF L-16 FinFET Logic	L-16	PR-16-FF / L01-Photo	4	25	P3	14d	RUNNING
L-1601-0303	D-16-FFB L-16 FinFET Logic B	L-16	PR-16-FF / L01-Photo	3	25	P3	11d	RUNNING
L-1601-0305	D-16-FF L-16 FinFET Logic	L-16	PR-16-FF / L01-Photo	2	25	P3	9d	RUNNING
L-1601-0306	D-16-FFB L-16 FinFET Logic B	L-16	PR-16-FF / L01-Photo	1	25	P3	3d	RUNNING
L-1601-0291	D-16-FF L-16 FinFET Logic	L-16	PR-16-FF / L01-Photo	18	25	P3	-	DONE
L-1601-0292	D-16-FFB L-16 FinFET Logic B	L-16	PR-16-FF / L01-Photo	18	25	P3	-	DONE
L-1601-0293	D-16-FF L-16 FinFET Logic	L-16	PR-16-FF / L01-Photo	18	25	P3	-	DONE
L-1600-0294	D-16-FF L-16 FinFET Logic	L-16	PR-16-FF / L01-Photo	18	25	P3	-	DONE
L-1601-0099	D-16-FF L-16 FinFET Logic	L-16	PR-16-FF / -	-	25	P3	-	SCRAP