EQ-S06 Stepper #06 IDLE
L-10 · 10nm
Stepper
제조사 ASML
설치 2025-02-15
PM 스케줄
1
Calibration 이력
0
Recipe 자격
0
예약 대기
0
PM / Cal 스케줄
| 유형 | 주기 | 마지막 | 다음 |
|---|---|---|---|
| PM | 720 hours | 05/15 | 06/14 21:57 D-28 |
Calibration 이력
이력 없음
Recipe 자격 (0)
자격 등록 없음
상태 변경 이력
이력 없음
예약 / 유지보수
예약 / 정비 없음