EQ-F05 Furnace #05 RUNNING
L-08 · 8nm
Furnace
제조사 Tokyo Electron
설치 2026-02-20
PM 스케줄
1
Calibration 이력
0
Recipe 자격
0
예약 대기
0
PM / Cal 스케줄
| 유형 | 주기 | 마지막 | 다음 |
|---|---|---|---|
| PM | 720 hours | 05/09 | 06/08 13:57 D-22 |
Calibration 이력
이력 없음
Recipe 자격 (0)
자격 등록 없음
상태 변경 이력
이력 없음
예약 / 유지보수
예약 / 정비 없음