EQ-P03 Probe #03 RUNNING
L-16 · 16nm
Probe
제조사 Applied Materials
설치 2024-10-20
PM 스케줄
0
Calibration 이력
0
Recipe 자격
0
예약 대기
0
PM / Cal 스케줄
스케줄 없음
Calibration 이력
이력 없음
Recipe 자격 (0)
자격 등록 없음
상태 변경 이력
이력 없음
예약 / 유지보수
예약 / 정비 없음