EQ-F04 Furnace #04 DOWN
L-10 · 10nm
Furnace
제조사 Tokyo Electron
설치 2025-01-10
PM 스케줄
1
Calibration 이력
0
Recipe 자격
0
예약 대기
0
PM / Cal 스케줄
| 유형 | 주기 | 마지막 | 다음 |
|---|---|---|---|
| CM | 0 hours | - | 05/18 00:57 D-0 |
Calibration 이력
이력 없음
Recipe 자격 (0)
자격 등록 없음
상태 변경 이력
이력 없음
예약 / 유지보수
예약 / 정비 없음