EQ-F02 Furnace #02 RUNNING
L-16 · 16nm
Furnace
제조사 Tokyo Electron
설치 2024-06-20
PM 스케줄
0
Calibration 이력
0
Recipe 자격
0
예약 대기
0
PM / Cal 스케줄
스케줄 없음
Calibration 이력
이력 없음
Recipe 자격 (0)
자격 등록 없음
상태 변경 이력
이력 없음
예약 / 유지보수
예약 / 정비 없음