EQ-S02 Stepper #02 RUNNING
L-18 · 18nm
Stepper
제조사 ASML
설치 2024-03-20
PM 스케줄
1
Calibration 이력
0
Recipe 자격
0
예약 대기
0
PM / Cal 스케줄
| 유형 | 주기 | 마지막 | 다음 |
|---|---|---|---|
| PM | 720 hours | 04/23 | 05/23 19:57 D-6 |
Calibration 이력
이력 없음
Recipe 자격 (0)
자격 등록 없음
상태 변경 이력
이력 없음
예약 / 유지보수
예약 / 정비 없음