EQ-C04 CMP #04 IDLE
L-10 · 10nm
CMP
제조사 Applied Materials
설치 2025-04-20
PM 스케줄
0
Calibration 이력
0
Recipe 자격
0
예약 대기
0
PM / Cal 스케줄
스케줄 없음
Calibration 이력
이력 없음
Recipe 자격 (0)
자격 등록 없음
상태 변경 이력
이력 없음
예약 / 유지보수
예약 / 정비 없음