결재 #4 Recipe 변경 PENDING P7
L-12 노광시간 2% 증가 — recipe_change
참조
RECIPE #4
발의자
윤시니어
2026-05-17 15:57
SLA
30h 58m 잔여
2026-05-18 15:57
단계
1/2
결재 흐름
단계 1
senior_engineer
윤시니어
Audit Log (영구)
REQUEST
윤시니어
L-12 EUV 노광시간 280→285ms (CD 안정화)
2026-05-17 15:57:06
토론 (0)
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