CURRENT LOT — IN PROGRESS
LM-2401-023
L01-Etch · recipe ET-28-L02
작업 지시 (SOP) — WI-ET28-L02 v3
3 / 5 단계
웨이퍼 적재 + recipe 확인
완료 · 12:14 · 이주간
파라미터 검증 (RF Power · Pressure · Gas Flow)
완료 · 12:18 · 자동 검증 OK
3
에칭 진행 (42초) — 진행 중
시작 12:42 · 26초 남음
RUNNING
4
CD 측정 (Critical Dimension)
대기 · 메트롤로지 EQ-006
빠른 액션
다음 Lot
1
L1A-2401-002
qty 500 · 16분 후 도착
QUEUED
2
L1A-2401-003
qty 500 · 64분 후 도착
QUEUED
3
L1A-2401-004
qty 500 · 13:30 예정
SCHEDULED